참고자료
피앤씨테크의 기술력을 소개합니다.
- 수관 BOILER의 급수수질 예 -
| 최고사용압력 (kg/㎠) | ≤10 | 10 ~ 20 | 20 ~ 30 | 30 ~ 50 | 50 ~ 75 | 75 ~ 100 | 100 ~ 125 | 125 ~ 150 | ≥150 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| pH (25℃) | ≥7 | ≥7 | ≥7 | ≥7 | 8 ~ 9 | 8.5∼9.0 | 8.5∼9.0 | 8.5∼9.0 | 8.5∼9.0 |
| 경도 | ≤2 | ≤2 | ≤2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 유지 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 | ≒0 |
| 용존산소 | - | ≤0.5 | ≤0.1 | ≤0.03 | ≤0.007 | ≤0.007 | ≤0.007 | ≤0.007 | ≤0.007 |
| 철 | - | - | - | - | ≤0.05 | ≤0.03 | ≤0.03 | ≤0.02 | ≤0.02 |
| 구리 | - | - | - | - | - | ≤0.02 | ≤0.02 | ≤0.01 | ≤0.005 |
| 히드라진 | - | - | - | 0.01∼0.03 | 0.01∼0.03 | 0.01∼0.03 | 0.01∼0.03 | 0.01∼0.03 | 0.01∼0.03 |
| 실리카 | - | - | - | - | - | - | - | - | ≤0.02 |
| 전도도 (25℃, ㏁/㎝) | - | - | - | - | - | - | - | ≤0.3 | ≤0.3 |
- 반도체용 초순수 요구수질 예 -
| DEGREE OF INTEGRATION | 256 K | 1 M | 4 M (ESTIMATED) | 16 M (ESTIMATED) |
|---|---|---|---|---|
| 전기저항 | 18 | 18.1 | 18.2 | 18.2 |
| 입자직경 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.05 |
| 마리/㎖ | 50 | 10 | 10 | 10 |
| 생균(마리/㎖) | 0.05 | 0.01 | 0.01 | 0.005 |
| TOC(ppb) | 50 | 30 | 10 | 5 |
| DO(ppb) | 100 | 100 | 50 | 10 |
| IONS(ppb) | SiO2 | 10 | 10 | 5 | 1 |
|---|---|---|---|---|---|
| Cr | 0.007 | 0.007 | |||
| Fe | 1 | 0.1 | 0.003 | 0.003 | |
| Mn | 0.05 | 0.05 | |||
| Zn | 0.02 | 0.02 | |||
| Cu | 1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Na | 1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| K | 0.1 | 0.1 | |||
| Cl | 1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
- DRAM 집적도 향상과 초순수 요구수질의 관계 -
| DRAM 집적도수질항목 | 256 MD | 1 MD | 4 MD | 16 MD | 64 MD | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 전기저항율(㏁·cm) | 17 ∼ 18 | 17.5 ∼ 18 | > 18 | > 18.1 | > 18.2 | |
| 미립자(개/㎖) | 0.1 ㎛ | 50 ∼ 150 | 10 ∼ 20 | 〈 5 | - | - |
| 0.05 ㎛ | - | - | 〈 10 | 〈 5 | 〈 1 | |
| 0.03 ㎛ | - | - | - | - | 〈 10 | |
| 세균 (개/ℓ) | 50~200 | 10~50 | 〈 10 | 〈 1 | 〈 0.1 | |
| TOC (㎍/ℓ) | 50~100 | 30~50 | 〈 10 | 〈 2 | 〈 1 | |
| DO (㎍/ℓ) | 50~100 | 30~50 | 〈 50 | 〈 10 | 〈 5 | |
| 실리카 (㎍/ℓ) | 10 | 5 | 〈 1 | 〈 1 | 〈 0.5 | |
| 중금속 이온 (ng/ℓ) | ~ 1,000 | 100 ~ 500 | 〈 100 | 〈 10 ~ 50 | 〈 5 | |
- 전처리 방법 -
○ : Possible / ● : Very Effective
| Pre treatment | CaCO30 | CaSO4 | BaSO4 | SrSO4 | CaF4 | SiO2 | SDI | Fe | Al | Bac-teria | Oxid. Agents | Org. Matter |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Acid Injection | ● | ○ | ||||||||||
| Scale Inhibitor | ○ | ● | ● | ● | ● | ○ | ||||||
| Softening with IX | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||
| Dealkalization with IX | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||||
| Lime Softening | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| Preventive Cleaning | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||
| Adjustment of Operation Parameter | ○ | ○ | ○ | ○ | ● | |||||||
| Media Filtration | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||
| Oxidation - Filtration | ○ | ● | ||||||||||
| In-Line Coagulation | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||||||
| Coagulation - Flocculation | ○ | ● | ○ | ○ | ||||||||
| Micro / Ultrafiltration | ● | ● | ○ | ○ | ○ | ● | ||||||
| Cartridge Filter | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||||||
| Chlorination | ● | |||||||||||
| Dechlorination | ● | |||||||||||
| Shock Treatment | ○ | |||||||||||
| Preventive Disinfection | ○ | |||||||||||
| GAC Filtration | ○ | ● | ● |
